Advanced Semiconductor Materials Lithography (ASML) är ett företag baserat i Nederländerna och med råge störst i världen inom utrustning för tillverkning av halvledare. I en tid av storbrist på kretsar går företaget nu ut med att det under natten brunnit i en fabrik i Berlin, Tyskland, där komponenter för litografiska maskiner som används för tillverkning av kretsar tillverkas.
At this point it is too early to make any statement on the damage or whether the incident will have any impact on the output plan for this year. It will take a few days to conduct a thorough investigation and make a full assessment. As soon as we have such assessment, we will provide an update.
ASML Berlin manufactures components for ASML’s lithography systems, including wafer tables and clamps, reticle chucks and mirror blocks. ASML acquired Berliner Glas in 2020.
I en skrivelse framgår att inga anställda kom till skada under branden och att ASML tar de kommande dagarna för att utreda inverkan på produktionen för helåret 2022. Enligt bolaget är det för tidigt att göra några uttalanden i frågan, och lovar istället mer information så snart de hunnit göra en "fullständig bedömning".
ASML är idag ensam om att göra maskiner för Extreme Ultraviolet Lithography (EUV), en optisk litografisk teknik som nyttjar ultraviolett strålning på våglängden 13,5 nanometer. Innan ASML efter många års förseningar lyckades leverera EUV-verktyg var det mest avancerade argonfluoridlaser (ArF), som används för ultraviolett ljus på våglängden 193 nanometer.
Med ArF lyckades Intel efter många års problem tillverka kretsar på 10 nanometer, vilken motsvarar TSMC:s 7 nanometer, som i första generationen också använde ArF. Att använda EUV-verktyg ses som helt avgörande för mer avancerade och transistortäta tekniker, såsom Intel 7 och TSMC:s 5 nanometer och nedåt, och hitintills har ASML monopol på tekniken.
